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集成电路(IntegratedCircuit)是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、二管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗和高性方面迈进了一大步。那么,是否人体一旦静电不受控,裸手触摸静电敏感IC,就会导致IC损坏么?而事实上,确实有企业验过,很少有发现IC(HBM-200V)损坏,即使是人体静电达1000V。要解决这个问题,就需要深入到了解IC器件ESD失效机理的层面上。例如IC器件中常见的MOS(MetalOxdideSemiconductor)管,其主要ESD失效机理是电缘层(电介质层)在遭受过高的静电场作用下发生击穿,瞬间产生大ESD电流导致缘层发生热损坏,从而导致IC的原有设计功能失效。由此认识得出,IC器件中缘层受到较高的静电场作用,才是IC是否发生ESD失效的根本因素。
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